真空鍍膜機連續(xù)使用半年以上，那么設(shè)備的抽速將會明顯變慢，那么該怎么去維護呢?首先，必須要沖入大氣，拆去聯(lián)結(jié)水管，將一級噴嘴擰出來，再用汽油將泵腔及泵膽清洗一下，再用清潔劑洗一遍，待水份揮發(fā)干后，裝好泵膽，重新加入新擴散的泵油，并裝回機體，便可重新開機。真空電鍍在重新開機時，要特別注意撿漏工作，先觀察擴散泵部分真空度是否達到6X10Pa，否則我們要進行檢漏。檢查聯(lián)接處是否裝密封膠圈，或壓壞密封圈。排除漏氣隱患后才可以加熱，否則擴散泵油會燒環(huán)，無法進入到工作狀態(tài)。當真空鍍膜設(shè)備抽泵連續(xù)不斷的工作一個月的時候，我們須重新在更變新油，將泵油內(nèi)的舊油完全的排放出來。然后加入新的泵油至一定量。連續(xù)使用半年以上。再換泵油時應(yīng)該將油蓋打開，用布擦干凈箱內(nèi)的污垢。在軸間等距離的環(huán)形表面上形成刻蝕區(qū)，其缺點是薄膜沉積厚度均勻性不易控制，靶材的利用率較低，僅為20%~30%。
凱澤金屬是一家致力于新材料研發(fā)和應(yīng)用的國家高新技術(shù)企業(yè)。坐落在中國鈦谷-寶雞，。主營業(yè)務(wù): 真空鍍膜、鈦鎳鋯鎳靶材等新材料研發(fā)、生產(chǎn)、銷售、服務(wù)。主要產(chǎn)品：磁控濺射靶材，分為陶瓷靶材、金屬靶材、合金靶材。應(yīng)用領(lǐng)域：應(yīng)用于平面顯示工業(yè)、薄膜太陽能工業(yè)、半導體鍍膜工業(yè)、建筑/汽車玻璃工業(yè)和裝飾/功能鍍膜工業(yè)。
濺射靶材市場依然被美國、日本的濺射靶材生產(chǎn)廠商所控制或壟斷。隨著濺射靶材朝著更高純度、更大尺寸的方向發(fā)展。不斷進行研發(fā)創(chuàng)新。靶材產(chǎn)品包括鋁及其合金靶材、鈦靶、銅靶、鉭靶等。尤特新材料（UVTM）是國家高新技術(shù)企業(yè)，公司成立于二00三年，專業(yè)從事信息、鍍膜、太陽能材料的科研與生產(chǎn)。公司從德國、日本、引進先進的生產(chǎn)、檢測設(shè)備和專業(yè)人才。目前，靶材的國產(chǎn)化進程面臨著高等技術(shù)封鎖難題。且技術(shù)難以實現(xiàn)系統(tǒng)打破，過程還需要多個學科的知識和經(jīng)驗的同時積累，產(chǎn)業(yè)需要協(xié)同發(fā)展。中國集成電路材料現(xiàn)狀如何？靶材是薄膜制備的關(guān)鍵原料之一，半導體在靶材應(yīng)用中約占10%。2016年靶材市場增速達到20%，2017年-2019年仍將保持復合增速13%。
尤其適用于和氧化物靶材。真空蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)一般由三個部分組成:真空室、蒸發(fā)源或蒸發(fā)加熱裝置、放置基板及給基板加熱裝置。在真空中為了蒸發(fā)待沉積的材料，需要容器來支撐或盛裝蒸發(fā)物，同時需要提供蒸發(fā)熱使蒸發(fā)物達到足夠高的溫度以產(chǎn)生所需的蒸汽壓。圖：真空蒸發(fā)鍍膜工作原理示意圖真空蒸發(fā)鍍膜技術(shù)具有簡單便利、操作方便、成膜速度快等特點，是應(yīng)用廣泛的鍍膜技術(shù)，主要應(yīng)用于光學元器件、LED、平板顯示和半導體分立器的鍍膜。光學器件應(yīng)用范圍非常廣泛，主要包括智能手機、車載鏡頭、安防監(jiān)控設(shè)備、數(shù)碼相機、光碟機、投影機等，元器件及光學鏡頭。我國濺射靶材研發(fā)生產(chǎn)技術(shù)還存在一定差距，市場影響力相對有限，尤其在半導體芯片、平板顯示器、太陽能電池等領(lǐng)域。
對靶材廠商而言，這是相當重要的新興市場。國內(nèi)靶材產(chǎn)業(yè)發(fā)展也是與日俱增，不斷的擴大自己的規(guī)模和生產(chǎn)技術(shù)，國內(nèi)一線生產(chǎn)制造靶材的品牌已經(jīng)達到國外尖的技術(shù)水平。2010年，日就在國內(nèi)寶島地區(qū)建立了光碟塒靶材的生產(chǎn)基地，可以滿足寶島50%的靶材需要。C新的統(tǒng)計報告指出，大部分國家靶材市場將以8.8%的年平均增長率（AAGR)在今后的5年內(nèi)持續(xù)增長，估計銷售額將從1999年的7.2億美元增加到2004年的11億美元。靶材是一種具有高附加價值的特種電子材料，主要使用在微電子，顯示器，存儲器以及光學鍍膜等產(chǎn)業(yè)上，用以濺射用于端技術(shù)的各種薄膜材料。磁控濺射鍍膜用靶材的使用率提高至40%，同時，降低了生產(chǎn)成本，減少了資源浪費。
研制出適用不同應(yīng)用領(lǐng)域的濺射靶材產(chǎn)品，才能在大部分國家濺射靶材市場中占得一席之地。UVTM自主創(chuàng)新開發(fā)的能力，TFT-LCD用高品質(zhì)ITO靶材，正式投入量產(chǎn)。自此，靶材的國外技術(shù)壁壘，在顯示面板產(chǎn)業(yè)重要材料國產(chǎn)化的道路上又前進了一步。廣州以打造“世界顯示之都”的目標，重點領(lǐng)域包括顯示器及配套（含濺射靶材），打造千億級平板顯示產(chǎn)業(yè)集群。中國已經(jīng)成為面板、半導體、光伏、觸摸屏等光電行業(yè)的制造大國和強國，對新材料有巨大的自身需求。預(yù)計2022年大部分國家顯示面板整體規(guī)模將超1300億美元，LCD面板占比約70%。中小尺寸OLED滲透率快速提升，大尺寸LCD占據(jù)主流。真空鍍膜機的發(fā)展相當迅速，隨著生產(chǎn)率的提高，生產(chǎn)費用大大降低。
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