20世紀90年代以來靶材已蓬勃發展成為一個有經驗化產業，中國及亞太地區靶材的需求占有世界70%以上的市場份額。大量不同的沉積技術用來沉積生長各種薄膜，而靶材是制作薄膜的關鍵，品質的好壞對薄膜的意義重大。目前高等品質靶材主要由:日本、德國和美國生產，我國靶材產業起步較晚，在產品質量與精細標準上與國外有不少的差距，國內也有許多大學及研究機構對靶材積較投入了大量鉆研與開發，經過這幾年的發展,珠三角也涌現了一批高新科技靶材廠家，其中少數成為了三星等全部知名企業的供應商，他們在國內占據了大部分中高等靶材市場份額。

1、靶材應用行業分類

1.1裝飾、工模具鍍膜行業靶材鉻靶（Cr），平面鉻靶，噴涂鉻管；

鉻硅靶90/10Wt%,50/50at%,25/75at%(電弧，平面靶，旋轉管靶）；

鈦鋁靶50/50at%,70Ti/30at%,67AL/33at%（電弧，平面靶，旋轉管靶）；

鈦鋁硅靶1:1:1at%,1:2:1at%(電弧，平面靶，旋轉管靶）；

鈦靶，鈦管靶，鋯靶；

金靶、玫瑰金靶；

石墨靶，鎳靶，鋁靶，不銹鋼靶等。

1.2太陽能光伏光熱行業靶材

氧化鋅鋁靶AZO；硅靶；鈦靶、氧化鈦靶；鋁靶；鉻靶、鎳鉻；鋅鋁、鎢、鉬靶等。

1.3建筑汽車玻璃大面積鍍膜

硅鋁靶、旋轉硅鋁靶；氧化鈦靶；錫靶；鉻靶；硅靶；鈦靶、不銹鋼靶。

1.4平面顯示行業

ITO靶；二氧化硅靶；高純硅靶4-7N；高純鉻靶3N5；TFT鉬靶；鉬鈮靶；鎢鈦靶90/10wt%；高純鋁靶等。

1.5光學，光通信，光存儲行業

銀靶；鉭靶；硫化鋅靶；高純鋁靶；硅靶。

2、常用靶形

常用靶形有電弧靶、平面靶、旋轉管靶。

2.1平面靶材利用率提高方式

（1）改變磁鐵運動方向

（2）改變磁力線分布寬度和高度

2.2靶材性能與要求

靶材質量直接影響著薄膜的物理、外觀、力學等性能，因而對靶材質量的評判較為嚴格，主要應滿足以下要求：雜質及氧含量低、純度高；致密度高；成分與結構均勻；晶粒尺寸細小。

2.3劣質靶材缺點

a)為熔煉鉻靶燒蝕后靶面情況

b)靶面有凹痕為引弧針安裝不當導致的

c)水晶鍍膜靶材密度不夠，燒蝕后區別

d)等離子噴涂氧化鈦旋轉管靶不良

相關鏈接