TiNi合金具有形狀記憶效應及超彈性兩種特性，可制作構造簡單的驅動元件。這種驅動元件的單位體積做功遠比PZT等其它材料的驅動元件大，但是制造這種材料必須經(jīng)過復雜的塑性加工和熱處理的組合工藝，是該材料的缺點之一。日本富士菲爾特工業(yè)公司和全澤工業(yè)大學的研究人員采用鍍鎳的純鈦絲，制成三維形狀元件后進行擴散熱處理，得到新開發(fā)的元件，并評價了該元件的性能。

這種三維形狀TiNi合金元件的制造方法是：在直徑100μm的純鈦絲表面鍍鎳(鍍層厚度12μm)，然后纏繞在陶瓷卷筒上加工成圓筒形狀，再在真空氣氛下(10^-3Pa)進行擴散熱處理(1173 K溫度下保溫1～8 h，通氬氣快速冷卻)，完成后將試料從卷筒上取下。

用掃描電鏡觀察了絲材的斷面組織，并用能量分散x射線分析其組分。結果表明，絲材最外周為鍍鎳層，心部殘存有未反應的鈦；熱處理使得絲材生成了Ti_xNi_1-x化合物相，呈層狀，該化合物相比例隨熱處理時間的延長而增加。X射線衍射分析表明，試料中除有Ni和Ti以外，還有TiNi—B19 (TiNi合金中的馬氏體相)。用示差掃描量熱計測定了試料的相

變溫度，結果表明：所有擴散熱處理后的試樣，都可以明顯觀察到表示熱彈性型馬氏體相變的放熱峰及吸熱峰，根據(jù)放熱峰的位置可以確定馬氏體相變開始溫度約340 K，這支持了x射線衍射分析結果。

以8h熱處理時間所得TiNi合金元件為例，觀察了它的形狀恢復動作。室溫下，變形的TiNi合金元件在453K保持在熱平臺 ，約40s后合金元件恢復到初始形狀，表明其性能良好。

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