磁控濺射鈦靶材主要應用于電子及信息產業(yè)，如集成電路、平面顯示屏和家裝汽車行業(yè)裝飾鍍膜領域，如玻璃裝飾鍍膜和輪轂裝飾鍍膜等。

為了更能接近磁控濺射靶材的使用者，以便提供更完善的售后服務，全球主要靶材制造商通常會在客戶所在地設立分公司。目前，亞洲的一些國家和地區(qū)，如臺灣、韓國和新加坡就建立了越來越多制造薄膜元件等產品的工廠，如IC、液晶顯示器制造廠，對靶材廠商而言，這是相當重要的新興市場。因此，全球靶材制造基地正在快速向亞洲地區(qū)聚集。隨著國內半導體集成電路、平面顯示及裝飾鍍膜等高技術產業(yè)的迅猛發(fā)展，中國的靶材市場日益擴大，已逐漸成為世界薄膜靶材的最大需求地區(qū)之一，這為中國靶材制造業(yè)的發(fā)展提供了機遇和挑戰(zhàn)。近幾年，在集成電路產業(yè)基金、國家科技重大專項（01、02、03）及地方基金等國家隊的帶動下，集成電路產業(yè)投資可謂大熱，據(jù)統(tǒng)計，僅2015-2016兩年間，國內已經宣布在建或計劃開工的晶圓生產線就多達44條，其中300mm 18條，200mm 20條，150mm ６條。在此巨大市場需求的拉動下，靶材產業(yè)必將引起了我國有關科研院所和企業(yè)的重視和關注，紛紛投入人力、物力、財力從事磁控濺靶材的研發(fā)和生產。鈦靶材作為靶材領域的獨特一個分支無論在半導體A1工藝或Cu工藝下都有應用，同時在液晶顯示器行業(yè)和裝飾鍍膜行業(yè)有著廣泛的應用。目前鈦靶材研發(fā)生產的基地主要集中在北京、廣東地區(qū)、江浙、甘肅等地。由于靶材原料純度、生產裝備和工藝研發(fā)技術的限制，我國鈦靶材制造業(yè)還處于初創(chuàng)期，國內鈦靶材生產企業(yè)基本屬于質量和技術門檻較低、采用傳統(tǒng)加工方法、依靠價格取勝的低檔次濺射靶材生產者，或獲利有限的代工型加工廠。生產規(guī)模小，品種單一，技術還不穩(wěn)定，迄今為止，中國（包括中國臺灣）僅有幾家生產靶材的專業(yè)公司，如有研億金、江峰電子等企業(yè)，生產的鈦靶材遠遠不能滿足市場發(fā)展的需要，大量鈦靶材還需從國外進口，高純度金屬鈦靶材的原材料已經獲得突破，但是大部分還不得不依賴進口。

鈦靶材作為一種具有特殊用途的材料，具有很強的應用目的和明確的應用背景。脫離金屬鈦的冶金提純技術、EB真空熔煉技術、鈦錠無損探傷技術、高純鈦的雜質分析技術、鈦靶材的制備技術、濺射機臺制備技術、濺射工藝和薄膜性能測試技術單純地研究鈦靶材本身沒有任何意義。鈦靶材的研發(fā)生產及后續(xù)的應用改進涉及一個從上游原材料到產業(yè)中游設備制造商和靶材制造商共同研發(fā)、下游鈦靶材鍍膜芯片應用的整個產業(yè)鏈。鈦靶材性能與濺射薄膜性能之間的關系，既有利于獲得滿足應用需要的薄膜性能，又有利于更好的使用靶材，充分發(fā)揮其作用，促進靶材產業(yè)發(fā)展。目前正處在集成電路產業(yè)在中國大陸蓬勃發(fā)展的階段，機遇和挑戰(zhàn)并存，如果不能抓住機遇把靶材制造、薄膜制造和檢測設備國產化，我國與國際水平的差距必將越來越大，不僅不能奪回由外商占領的國內市場，更無法參與國際市場的競爭。

相關鏈接