大家都知道靶材分為很多種，比如合金，氧化物，銅、鋁、不銹鋼、鎳、鈦等金屬，而根據(jù)金屬的不同，需要用到各種不同的靶材制備方法，凱澤金屬結(jié)合相關(guān)資料，整理如下：

濺射靶材的不同工藝方法及特點(diǎn)

1、粉末燒結(jié)法

一般熱壓、真空熱壓、熱等靜壓等工藝會用到粉末燒結(jié)法。

（1）特點(diǎn)：這種制備工藝具有容易獲得均勻細(xì)晶結(jié)構(gòu)、節(jié)約原材料、生產(chǎn)效率高等特點(diǎn)。其關(guān)鍵在于需要選擇高純、超細(xì)粉末作為原料，選擇可以實(shí)現(xiàn)快速致密化的成形燒結(jié)技術(shù)，從而保證靶材的低孔隙率，并控制晶粒度。在制備的過程中需嚴(yán)格控制雜質(zhì)元素的引入。

（2）適合金屬：適合W、Mo、Ru等難溶性金屬和合金。

2、熔煉鑄造法

一般真空感應(yīng)熔煉、真空電弧熔煉、真空電子轟擊熔煉等工藝會用到熔煉鑄造法。

（1）特點(diǎn)：熔煉鑄造法和粉末法相比，熔煉合金靶材的雜質(zhì)含量，特別是氣體雜質(zhì)含量低，而且能高密度化、大型化，但是對于熔點(diǎn)和密度相差都很大的金屬，熔煉法會難以獲得成分均勻的合金靶材。

（2）適用金屬：適合AI、Ti、Ni、Cu、Co、Ta、Ag、Pt等具有良好塑性的金屬。

3、擠壓工藝

一般熱擠壓、冷擠壓、溫?cái)D壓等都會用到擠壓工藝。

（1）特點(diǎn)：主要用于制備塑性好的金屬及合金旋轉(zhuǎn)靶材。

（2）適用金屬：適合AI、Cu、Zn等塑性好的金屬。

4、等離子噴涂法

一般真空、水穩(wěn)、氣穩(wěn)等離子噴涂等工藝都會用到等離子噴涂法。

（1）特點(diǎn)：可用于制備脆性金屬及合金、陶瓷靶材等旋轉(zhuǎn)靶材。

（2）適用金屬：適合Cr、Si、氧化物等的旋轉(zhuǎn)靶材。

經(jīng)過以上介紹可知濺射靶材制備工藝方法主要有粉末燒結(jié)法、熔煉鑄造法、擠壓工藝、等離子噴涂法等，不同工藝適用場合不同、特點(diǎn)不同、適用金屬也不同，所以不同的金屬所用到的制備工藝都是不同的，我們可以做個(gè)相關(guān)的了解，如果大家還有疑問可以隨時(shí)致電寶雞市凱澤金屬材料有限公司，我們的工作人員經(jīng)驗(yàn)豐富、售后服務(wù)完善、所生產(chǎn)靶材規(guī)格多樣、制備工藝精良，如有需要，歡迎大家隨時(shí)致電或留言進(jìn)行咨詢。

相關(guān)鏈接