鈦鋁靶材是以鈦（Ti）和鋁（Al）為主要成分，通過特定工藝制備而成的合金濺射靶材，是物理氣相沉積（PVD）技術(shù)的關(guān)鍵“源頭”材料。通過磁控濺射、電弧離子鍍等工藝，鈦鋁靶材被氣化并沉積在部件表面，形成一層兼具輕質(zhì)、高強(qiáng)度、耐高溫、抗氧化的鈦鋁或鈦鋁氮（TiAlN）等功能涂層，是提升航空航天裝備性能、可靠性與壽命的核心手段之一。
區(qū)別于傳統(tǒng)工具鍍膜領(lǐng)域，航空航天應(yīng)用對(duì)鈦鋁靶材提出了極致的性能要求：它不僅需要靶材本身具備超高純度、無缺陷和高致密度，更要求其沉積出的薄膜能在極端環(huán)境（如超過800℃的發(fā)動(dòng)機(jī)熱端、高鹽霧海洋大氣、太空高低溫循環(huán)）下長(zhǎng)期穩(wěn)定工作，其技術(shù)復(fù)雜度和認(rèn)證門檻遠(yuǎn)高于普通工業(yè)領(lǐng)域。
一、 定義與核心材質(zhì)
1. 定義：
航空航天用鈦鋁靶材，特指為滿足航空航天極端服役環(huán)境要求而設(shè)計(jì)制造的高性能鈦鋁合金濺射源。其核心功能是通過PVD工藝，在航空發(fā)動(dòng)機(jī)葉片、機(jī)匣、航天器結(jié)構(gòu)件、精密儀器表面沉積出輕質(zhì)、高強(qiáng)、耐高溫氧化和抗腐蝕的鈦鋁基防護(hù)涂層或功能薄膜。
2. 核心材質(zhì)與相組成：
其材質(zhì)并非簡(jiǎn)單的鈦鋁機(jī)械混合，而是通過精確的原子配比（常用鈦鋁原子比從90:10至50:50不等），形成以金屬間化合物為主體的高性能合金。
關(guān)鍵物相：主要包含 γ-TiAl 和 α?-Ti?Al 相。γ-TiAl相提供良好的高溫強(qiáng)度和抗氧化性，α?-Ti?Al相則有助于提升合金的室溫塑性和韌性。最新研發(fā)的第三代γ-TiAl合金是當(dāng)前的研究與應(yīng)用前沿，旨在進(jìn)一步改善其熱加工性能和使用可靠性。
典型特性：密度約為4.54 g/cm3，遠(yuǎn)低于鎳基高溫合金，可實(shí)現(xiàn)顯著的減重效果；熔點(diǎn)高達(dá)1942K（約1669℃），具備優(yōu)異的高溫潛力。
與涂層的聯(lián)系：在反應(yīng)性濺射中（如通入氮?dú)猓摪胁挠糜诔练e鈦鋁氮（TiAlN）納米復(fù)合涂層，其高溫硬度、抗氧化性（可達(dá)800℃以上）遠(yuǎn)超普通的TiN涂層，是航空部件防護(hù)的關(guān)鍵。
二、 關(guān)鍵性能特點(diǎn)
航空航天領(lǐng)域?qū)︹佷X靶材的性能要求是全方位且極其嚴(yán)苛的，具體體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面：
| 性能維度 | 具體要求與描述 | 對(duì)航空航天應(yīng)用的意義 |
| 高溫穩(wěn)定性與抗氧化性 | 涂層必須在800℃以上長(zhǎng)期保持穩(wěn)定，表面能形成致密、附著力強(qiáng)的Al?O?保護(hù)膜以阻止進(jìn)一步氧化。 | 保證發(fā)動(dòng)機(jī)渦輪葉片、燃燒室等熱端部件在極端溫度下的使用壽命與可靠性。 |
| 優(yōu)異的力學(xué)性能 | 沉積的涂層需具有高硬度（通常>30 GPa）、高韌性、良好的膜基結(jié)合力以及優(yōu)異的抗熱震疲勞性能。 | 抵御高速氣流沖刷、微小顆粒撞擊（砂蝕、液滴侵蝕）以及頻繁起降帶來的熱循環(huán)應(yīng)力，防止涂層剝落。 |
| 輕量化特性 | 鈦鋁合金靶材及其涂層密度低（約3.6-4.2 g/cm3），是實(shí)現(xiàn)減重的理想材料。 | 直接提升飛行器的推重比、燃油經(jīng)濟(jì)性和有效載荷，對(duì)航空航天器至關(guān)重要。 |
| 靶材本征質(zhì)量 | 高純度（通常≥99.9%）、高致密度（接近理論密度）、微觀組織均勻（細(xì)小等軸晶）。雜質(zhì)和氣孔會(huì)導(dǎo)致涂層產(chǎn)生缺陷。 | 確保濺射過程穩(wěn)定，沉積的涂層成分均勻、無缺陷，是獲得高性能涂層的前提。 |
| 工藝穩(wěn)定性 | 在反應(yīng)濺射（如制備TiAlN）時(shí)，靶材應(yīng)具備良好的“抗中毒”能力，即表面形成化合物后仍能保持穩(wěn)定的濺射速率，避免工藝波動(dòng)。 | 保障大規(guī)模、重復(fù)性生產(chǎn)中涂層性能的高度一致性和可靠性，滿足航空航天的質(zhì)量體系要求。 |
三、 主要執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)
目前，針對(duì)航空航天用鈦鋁靶材的專用國(guó)際或國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)體系尚在發(fā)展和完善中。其生產(chǎn)與驗(yàn)收主要依據(jù)以下幾類規(guī)范：
通用材料基礎(chǔ)標(biāo)準(zhǔn)：參考鈦及鈦合金的國(guó)標(biāo)（如GB/T 16598, GB/T 2965）和美軍標(biāo)（如ASTM B381, AMS規(guī)范），對(duì)化學(xué)成分、雜質(zhì)含量、力學(xué)性能基礎(chǔ)等進(jìn)行約束。
企業(yè)/行業(yè)專用技術(shù)協(xié)議：這是最主要的約束文件。航空發(fā)動(dòng)機(jī)制造商（如Rolls-Royce, GE, 賽峰）或航天器主制造商（如波音、空客、中國(guó)商飛）會(huì)提出極其嚴(yán)苛的定制化技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)，涵蓋從靶材純度、相組成、晶粒度、超聲波探傷等級(jí)到涂層最終性能（如結(jié)合力、熱震次數(shù)、抗氧化溫度-時(shí)間曲線）的全套驗(yàn)收指標(biāo)。
參考相關(guān)領(lǐng)域高標(biāo)準(zhǔn)：由于其高可靠性和高性能要求，部分測(cè)試方法和質(zhì)量體系會(huì)參考半導(dǎo)體用高純靶材（如GB/T 44759-2024對(duì)高純鎳靶的要求）和核電材料的嚴(yán)苛標(biāo)準(zhǔn)。
四、 加工工藝、關(guān)鍵技術(shù)及流程
高品質(zhì)航空航天鈦鋁靶材的制備是技術(shù)密集型過程，克服了鈦鋁金屬間化合物固有的室溫脆性、難加工等難題。
1. 核心加工流程：
原料處理（高純鈦/鋁粉或電極）→ 熔煉/成型（真空自耗電弧熔煉VAR或粉末冶金）→ 熱機(jī)械處理（鍛造、熱擠壓、軋制）→ 均勻化熱處理 → 精密機(jī)械加工 → 背板焊接（與無氧銅背板高質(zhì)量綁定）→ 無損檢測(cè)（超聲探傷等）→ 超凈清洗與真空包裝。
2. 關(guān)鍵技術(shù)環(huán)節(jié)：
均質(zhì)化熔煉與成型技術(shù)：傳統(tǒng)鑄造易產(chǎn)生偏析和氣孔。目前多采用多次真空自耗電弧熔煉（VAR） 確保成分均勻。對(duì)于大尺寸或特殊成分靶材，粉末冶金結(jié)合熱等靜壓（HIP） 是重要方向，能有效細(xì)化晶粒、提高致密度。
可控的熱機(jī)械加工技術(shù)：鈦鋁合金熱變形抗力大、加工窗口窄。采用等溫鍛造、熱擠壓（如將Φ76mm鑄錠擠壓成Φ20mm棒材）等先進(jìn)塑性加工技術(shù)，是破碎鑄態(tài)組織、獲得均勻細(xì)小等軸晶、提升靶材性能的關(guān)鍵步驟。
相組成與微觀組織精確調(diào)控：通過精確控制熱處理溫度、時(shí)間和冷卻速率，調(diào)控γ-TiAl和α?-Ti?Al兩相的比例、形貌和分布，從而優(yōu)化靶材的濺射性能和最終涂層的力學(xué)性能。
高質(zhì)量綁定與無損檢測(cè)：采用高溫真空擴(kuò)散焊等工藝，確保靶材與背板實(shí)現(xiàn)冶金結(jié)合，界面熱阻低、結(jié)合強(qiáng)度高。必須進(jìn)行100%超聲波探傷，確保內(nèi)部無分層、氣孔等缺陷。
五、 具體應(yīng)用領(lǐng)域
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 具體部件與功能 | 涂層類型與技術(shù)要求 |
| 航空發(fā)動(dòng)機(jī)高溫部件 | 高壓渦輪葉片、導(dǎo)向器葉片、燃燒室火焰筒、機(jī)匣。 | TiAlN基超硬防護(hù)涂層。要求涂層具有極高的高溫抗氧化性（>900℃）、優(yōu)異的抗熱震疲勞性能、良好的抗高溫燃?xì)飧g（硫化、熱腐蝕）能力，以替代或部分替代貴金屬鉑鋁涂層，延長(zhǎng)大修間隔。 |
| 飛行器與航天裝備防護(hù) | 飛機(jī)起落架、作動(dòng)筒、航天器蒙皮、發(fā)動(dòng)機(jī)艙結(jié)構(gòu)件、高溫緊固件。 | 耐磨耐蝕涂層。利用TiAlN或TiAlCN涂層的高硬度、低摩擦系數(shù)和耐鹽霧腐蝕特性，提升部件在復(fù)雜大氣環(huán)境下的耐磨性和抗腐蝕能力，保障長(zhǎng)期服役安全。 |
| 精密器件 | 航天器慣性導(dǎo)航系統(tǒng)陀螺儀、衛(wèi)星姿態(tài)控制飛輪軸承、高速旋轉(zhuǎn)掃描鏡軸承。 | 減摩增韌與尺寸穩(wěn)定涂層。要求涂層極低的內(nèi)部應(yīng)力、優(yōu)異的摩擦學(xué)性能（低磨損率）、高精度且穩(wěn)定的膜厚控制，以滿足精密器件對(duì)尺寸穩(wěn)定性和長(zhǎng)壽命、高可靠性的極致要求。 |
六、 與其他領(lǐng)域用鈦鋁靶材的對(duì)比
| 對(duì)比維度 | 航空航天領(lǐng)域 | 工具與模具鍍膜 | 半導(dǎo)體/微電子/顯示面板 | 光伏能源/高溫化工/海洋工程 |
| 核心性能追求 | 極端環(huán)境可靠性：高溫氧化抗力、抗熱震、高比強(qiáng)度、長(zhǎng)壽命。 | 表面力學(xué)性能：高硬度、耐磨性、低摩擦系數(shù)，以提升加工效率。 | 薄膜電學(xué)/光學(xué)性能：特定的電阻率、均勻性、純度，服務(wù)于電路或顯示功能。 | 特定環(huán)境耐受性：耐化學(xué)腐蝕、耐濕熱老化、或特定的光學(xué)透射/反射特性。 |
| 典型涂層體系 | 高溫TiAlN、Pt改性的鋁化物涂層、MCrAlY（金屬陶瓷）結(jié)合涂層。 | 常規(guī)TiAlN、TiAlCrN 等硬質(zhì)涂層。 | 鈦、鋁、鈦鋁合金薄膜，用于電極、阻擋層等。 | 氧化鈦、氮化鋁等透明導(dǎo)電或耐蝕薄膜。 |
| 對(duì)靶材純度要求 | 高（≥99.9%），嚴(yán)格控制有害雜質(zhì)（如O、N、Fe），但略低于半導(dǎo)體。 | 中（99.5%-99.9%），成本控制是關(guān)鍵因素之一。 | 極高（99.999%-99.9999%），對(duì)堿金屬、放射性元素等有嚴(yán)苛限制。 | 中到高，取決于具體應(yīng)用場(chǎng)景。 |
| 對(duì)靶材均勻性要求 | 極高，要求微觀組織（晶粒、相分布）高度均勻，以確保涂層性能一致性。 | 高，但對(duì)均勻性的容忍度高于航空航天。 | 極致，要求納米級(jí)成分與厚度均勻，直接影響器件良率。 | 高，尤其在大面積鍍膜時(shí)。 |
| 技術(shù)門檻與成本 | 最高。涉及國(guó)防安全，認(rèn)證周期極長(zhǎng)（5-10年），研發(fā)與制造成本高昂。 | 中。技術(shù)成熟，市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)激烈，已高度產(chǎn)業(yè)化。 | 極高。設(shè)備投資巨大，技術(shù)壁壘森嚴(yán)，認(rèn)證嚴(yán)格。 | 中到高。取決于技術(shù)迭代速度和工況苛刻程度。 |
七、 未來發(fā)展新領(lǐng)域與方向
面向新一代動(dòng)力系統(tǒng)的超高溫涂層材料：
隨著自適應(yīng)變循環(huán)發(fā)動(dòng)機(jī)、高超聲速飛行器的發(fā)展，對(duì)熱端部件涂層耐溫能力提出1100℃乃至更高要求。未來將發(fā)展基于TiAl靶材的多元納米復(fù)合涂層（如摻雜Y、Hf、Si等元素的TiAlSiYN涂層），利用納米效應(yīng)和活性元素效應(yīng)，進(jìn)一步強(qiáng)化氧化膜的粘附性和涂層的高溫穩(wěn)定性。
智能化與梯度功能一體化涂層：
開發(fā)“結(jié)構(gòu)-功能”一體化智能涂層。例如，利用鈦鋁靶材與其他靶材共濺射，制備具有成分/結(jié)構(gòu)梯度的涂層，使其表層具備最佳防護(hù)性能，中間層實(shí)現(xiàn)應(yīng)力緩沖，底層實(shí)現(xiàn)與基體的最佳結(jié)合。甚至探索具有自修復(fù)、自感知（如通過涂層電阻變化監(jiān)測(cè)損傷）功能的智能涂層體系。
增材制造（3D打印）部件的原位/后處理涂層：
鈦鋁合金本身已是3D打印的重要材料。未來，針對(duì)復(fù)雜拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)的3D打印航空航天部件（如點(diǎn)陣結(jié)構(gòu)散熱器、一體化葉片），開發(fā)與之匹配的非視線PVD涂層技術(shù)（如高能脈沖磁控濺射HiPIMS、原子層沉積ALD與PVD結(jié)合），實(shí)現(xiàn)深孔、內(nèi)腔表面的均勻高性能鍍膜，將是重要方向。
太空環(huán)境長(zhǎng)效防護(hù)與在軌維護(hù)技術(shù)：
針對(duì)空間站、深空探測(cè)器、可重復(fù)使用航天器，利用鈦鋁基涂層優(yōu)異的抗原子氧侵蝕、抗空間碎片撞擊、抗高低溫交變和真空紫外輻照性能，開發(fā)超長(zhǎng)壽命（>15年）的太空環(huán)境防護(hù)涂層。并研究基于靶材技術(shù)的在軌表面修復(fù)與強(qiáng)化的可能性。
綠色制造與全生命周期管理：
推廣靶材的回收與再制造技術(shù)。如研究將航空航天涂層使用后的廢舊（但仍有很高材料價(jià)值）鈦鋁靶材進(jìn)行回收，通過特定工藝再生為符合要求的靶材，降低成本并符合可持續(xù)發(fā)展理念。
總而言之，航空航天用鈦鋁靶材及其涂層技術(shù)正朝著 “耐溫更高、功能更智、應(yīng)用更廣、全壽更綠” 的方向發(fā)展。它不僅是當(dāng)前提升航空航天裝備性能的關(guān)鍵，更是支撐未來空天技術(shù)革命不可或缺的先導(dǎo)性材料。其技術(shù)進(jìn)步將與新型發(fā)動(dòng)機(jī)設(shè)計(jì)、新材料（如陶瓷基復(fù)合材料CMC）應(yīng)用、先進(jìn)制造工藝深度融合，共同推動(dòng)航空航天工業(yè)進(jìn)入新的發(fā)展階段。
